冷凝泵是使用低溫外表冷凝氣體的真空泵,又稱冷凝泵。冷凝泵是獲得清潔真空的極限壓力低、抽氣速率大的真空泵,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和出產(chǎn),以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空外表分析儀器、離子注入機(jī)和空間模擬設(shè)備等方面。
因其潔凈無污染、效率高、抽速大、高可靠性等杰出優(yōu)勢(shì),被廣泛的應(yīng)用于科學(xué)研究實(shí)驗(yàn)室、乃至工業(yè)出產(chǎn)等眾多領(lǐng)域,如半導(dǎo)體材料制造、平板顯示器出產(chǎn)/測(cè)試設(shè)備、太陽(yáng)能制造業(yè)、真空鍍膜、熱真空體系等。
冷凝泵適用介質(zhì):清水 冷凝泵適用介質(zhì)溫度:0℃ 至 120℃ 冷凝泵使用規(guī)模100N130和150N110型可運(yùn)送120℃以內(nèi)的液體,但其他泵運(yùn)送液溫不能超過80℃。冷凝泵為臥式懸臂單級(jí)、兩級(jí)離心泵,共分8個(gè)種類。
支承部分主要件有托架、前后鈾承壓蓋和鈾組合定位在托架上的前后徑向滾珠鈾承上,滾球鈾承亦承受未被平衡的鈾向力。用稀油潤(rùn)滑,油量可從油標(biāo)看出。前后鈾承壓蓋均裝有毛氈密封圈做為鈾封以防漏油。管堵處的孔用來灌油。清洗換油時(shí)從絲孔將油放出。