近些年,運(yùn)用低溫技術(shù)來獲得真空泵發(fā)展趨勢迅速。超低溫冷凝泵與磁控濺射離子泵、鈦提升泵等其它表層吸附泵不一樣，其運(yùn)行原理通常是物理特性的吸咐作用和超低溫中的汽體冷疑作用。當(dāng)一個(gè)中性氣體分子結(jié)構(gòu)打到一個(gè)超低溫表面時(shí)，將喪失它非常絕大部分的機(jī)械能所以被表層的色散力(分子結(jié)構(gòu)彼此很近時(shí)，因?yàn)橥鈱与娮勇奋壴馐苡绊懚鸬囊环N與分子結(jié)構(gòu)極化能力相關(guān)的影響力)所縛。它一切汽體都能在超低溫或很低的條件下被冷疑清 除而獲得很低的氣體壓強(qiáng)。

　　超低溫冷凝泵具備真空值高，抽速大，對(duì)大部分汽體無可選擇性，樣子隨意，相對(duì)高度清理，工作中氣體壓強(qiáng)覆蓋面廣，高流量和低流量都能夠勝任等特點(diǎn);但價(jià)格昂貴，保持費(fèi)用較高，機(jī)器設(shè)備繁雜，使它運(yùn)用受限制。經(jīng)過長期勤奮，現(xiàn)階段有一些冷凝泵的成本早已下降至能與渦輪分子泵和各類磁控濺射離子泵一樣的水準(zhǔn)。一般來說超低溫冷凝泵可以分為兩類：

　　一種是具備非常大吸咐面積超低溫吸附泵，一般是多孔結(jié)構(gòu)的吸收劑(如碳分子篩，氧化鋁微粉，硅橡膠，活性炭等)松散沉積或卡緊固定于金屬材料攜帶。汽體在吸收劑表層的物理吸附控溫線確定它和空間創(chuàng)建平衡氣體壓強(qiáng)。因其吸咐作用關(guān)鍵僅 限于單分子層，因此吸附量與面積正相關(guān)，其實(shí)就是與吸收劑的總數(shù)正相關(guān)。這類超低溫吸附泵做為粗抽泵，堅(jiān)守在液N2條件下。如作為超高真空泵，大多數(shù)堅(jiān)守在15—2lK范疇。但是由于吸收劑的導(dǎo)熱系數(shù)低，熱傳遞吸收能力高，它極限值氣體壓強(qiáng)、抽速和排量得到了限定。當(dāng)超出某一臨界值氣旋值，泵會(huì)越來越不穩(wěn)，乃至不可以運(yùn)用，并且消除冷疑吸咐氣體很有可能非常艱難。